| ガラス･樹脂板 |
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| ガラス | 石英ガラス | アクリル | 厚板ガラス | ハードディスク | 電磁波防止ガラス | |
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| ガラス繊維 | 光ファイバー | マット加工 | アクリルガラス | レンズ | ポリカーボネート板 | |
| 合わせガラス | アクリル板 | 塩ビ板 | 等 |
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| 特長 |
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| ◆ | 従来方式の6000倍（50μm欠陥検出時）の被写界深度により、表裏から内部異物を一度で検査が可能です。 |
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| ◆ | 成膜ガラスに発生するムラや、樹脂版などに発生する液ダレなどの低コントラスト欠陥の検査が可能です。 |
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| ◆ | 表面加工(例 マット加工)されたガラスや樹脂版などの、地合変化が著しい対象物であっても安定して検出可能です。 | ||
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| 主な検出欠陥 |
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| 異物 | 気泡 | キズ | ムラ | 液ダレ | 白点 | ||
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| 欠け | スジ | 色ムラ | 樹脂溜まり | 黒点 | 凹凸 | ||
| 縦スジ | 研磨ムラ | ピンホール | 凹み | 横スジ | 歪み | ||
| 抜け | 突起 | 横ダン | 脈理 | 等 |
| 主な欠陥画像 |
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| 樹脂板 横スジ | 樹脂板（エンボス加工） 異物 | 樹脂板 ムラ |
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| FPD ガラス キズ | FPD ガラス 異物 |
| 詳細については、システム事業部にご連絡ください。 |
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