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  アナライザ(画像解析用ソフトウェア)
     
    アナライザは、主としてオンライン検査を行うにあたり、最適なパラメータ(検査設定値)を決定するために有効な解析用ソフトウェアです。
検査対象物の取り込みデータ(5,120x51,120ピクセル)に対して、グレースケール原画像(256段階明度)をはじめ、疑似カラーによる2次元、3次元のコントラスト強調表示とその360°任意回転(全体および指定部分)、スレッシュホールド設定後の欠陥切り分け表示、およびこれら全画像に対する明度調整などの多様なシミュレーションと各種解析処理を行うことができます。
簡単な操作に加えて、各種の機能により視覚的にわかりやすく、容易にパラメータの作成が可能です。またこのアナライザはパラメータの検討以外にも実験用、研究用として検査現場以外の開発用途に活用することができます。
このアナライザの画像データはアクティブ・ナビの欠陥画像とリンクされ、オンライン検査中においても併行して欠陥の画像を詳細に解析することが可能です。

   

  アクティブ・ナビ

       
    アクティブ・ナビは、アナライザで作成したパラメータに従って、検査を行い、リアルタイムに検査結果のドキュメントデータと欠陥画像をディスプレイに表示します。
アクティブ・ナビはディフェクト・ナビゲータ部分と欠陥画像表示部分により構成されます。ディフェクト・ナビゲータはロット全体を把握できる情報を、欠陥画像表示は欠陥個々の情報を提供し、欠陥の発生原因の追求に大きく役立ちます。
       
    ディフェクト・ナビゲータ
      検査実行中、欠陥の検出をリアルタイムでマップ表示するとともに、過去に発生した全ての欠陥位置と詳細な検査データも同時に表示します。
欠陥の発生位置が検査開始から何枚目(または何メートル目)の、どの位置であるかが判定でき、ウインドウ左サイドに表示される時系列モニタリング機能(特許出願中)によりショートターム、ミドルターム、ロングタームの検査結果が並列表示されます。また、データディスプレイにはブロック毎のドキュメントデータ(最大値、最小値など)がリアルタイムに表示され、検査の統合管理が行えます。
位置情報の表示は、検査員に判りやすいように欠陥の種類により色分けされ、欠陥の大きさ・種類の区分けが可能です。欠陥の発生頻度や周期的に発生する欠陥などが一目でわかり、欠陥発生原因の分析に有効です。
       
    欠陥画像
      欠陥が検出されると、リアルタイムかつ自動的に欠陥周辺部の画像データを切り取り表示します。また、ディフェクト・ナビゲータで検索した過去の欠陥の画像を複数同時に表示することにより、位置的に離散した欠陥の画像比較が容易に可能です。
この欠陥画像はアナライザとリンクしていますので、検査中においても別途のパラメータの作成や解析作業が可能なフレキシブル設計となっています。

   


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