| 新機能 |
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| 時空トライアングル・プロセス | |
| 画素ばらつきの影響を皆無にし、超高精度検査を実現 | |
| テクノスは特許技術「トライアングル・プロセス」と「時空センシング」を組み合わせることにより、「時空トライアングル・プロセス」を新たに開発し、テクノス スーパー5000Kに搭載しました。 「トライアングル・プロセス」は人間の目の機能を電子回路化した処理で、微細欠陥から低コントラストのムラまで高精度な検査を実現するテクノスの特許技術です。 「時空センシング」は微妙な欠陥の検出に有害なセンサの画素間のばらつきを時間軸と空間軸を変換することによってカットするテクノスの特許技術です。この方式を用いると従来のCCD方式の検出限界であったセンサのばらつき３％を実用精度で０.４％以下にすることができます。 従来の方式では、非常に小さな欠陥を検出する場合、センサの画素ばらつきに欠陥が埋もれて検出が困難な場合がありました。 「時空トライアングル・プロセス」は、画像データの時間軸と空間軸を変換して「トライアングル・プロセス」をかけることにより、画素ばらつきの影響を皆無にし、超高精度な微細欠陥検査を実現しました。 |
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| 進化したトレモア・プロセス |
| 目視の116.5倍の検出精度に加え、ヒビなどの線欠陥・スジムラを強力に検出 |
| トレモア(微震)とは、人間の目の固視微動の一種で、眼球が毎秒80回程度、10μm縦に震動することをいいます。視力1.0の人が固視微動を止めてしまうと、視力0.1になるとも言われています。この動作によって、動かなければ検知できない狭間にある欠陥をも捉えることができると考えられます。このため、人間は高精度で対象物を見ることが出来るのです。 テクノスではこの“微震(トレモア)”と呼ばれる固視微動の働きを電子回路に置き換え、検査対象物が微振動しているかのように処理することで精度を上げ、目視の116.5倍の検知能力を達成しました。 さらに、スーパー5000Kでは、このトレモア・プロセスを拡張することにより、ヒビなどの線欠陥・スジムラ等の欠陥を強力に検出することを可能にしました。 |
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